第274章 分子级别超纯水

特喵逗我”。

“晚上和两个丫去食堂吃饭，心里就一直琢磨着这事儿，那种有件事忘记了却马上就能想起来的那种感觉你们都经历过吧，我昨晚就是那种～”

“菲菲看我想得挺痛苦的，就开了几瓶葡萄汽水～”

虽然梁远一本正经的编着心灵汤，可葡萄汽水这个名词一出，小会议室还是响起了低低的笑声，宁婉菲的葡萄味汽水在远嘉已经成了很著名的“梗”。

“哈哈哈，别笑～，开会呢～。”

梁远自己也笑场了。

“葡萄汽水还是有用的，一进到微醺状态，看东西的视界难免会扭曲变化有些失真～”

梁远拉拉的把自己看磁悬浮胶囊列车的光斑投影，在湖面宽窄变化进而联想到体折和光刻机镜的事联系了起来。

牛顿之前，无数被东西砸了脑袋也没发现万有引力，梁土豪之前，无数的酒鬼醉眼迷离也没想到光刻机的线宽，梁远自己觉得这锅汤炖得还是蛮有格调的。

“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大n值～。”

梁远假模假样的问了一句。

除了特别极端条件，物理定律肯定是不会变的，晶圆丢水里当然会变相增大镜的n值。

“卧艹！”

技术大佬三组都被惊吓了，刘飞扬和聂晓天甚至连不符合社会期待都语气助词都没憋住。

王欣彻底的一副世界变化这么大，好像忽然见了鬼的模样。

小会议室里一片寂静，也不知过了多久，王欣喃喃的说道：“大少，我是彻底相信你是被赚钱耽搁了的科学天才了。”

刘飞扬小小的“呃”了一声，把差点脱而出的大少是真有吉祥物属的话硬生生的咽了回去。

昨晚刘飞扬和聂晓天应酬完方伟林一行，两结伴回家时还笑言港基集电有吉祥物属的大少，193纳米光源壁垒肯定得我们追上来才能突，哪成想只是回家睡了一觉，第二天梁远就直接种了。

镜上加水这玩意一旦捅了后边差不多是一马平川，对于技术大佬三组随便拿张纸就能算出来这东西的前景。

水的折率是144，港基集电目前营运的晶圆生产线线宽是5微米，如果像梁远所言的直接在水里光刻都不用变动光刻机的镜组数和更换新光源，直接就能把线宽变成35微米。

“大少这个想法简直天才～”

“十年之前，式蚀刻和湿式蚀刻就有过路线之争，结果式蚀刻把湿式蚀刻给淘汰了，没想到换了个思路湿式居然又复活了。”

“老聂，你这话可不准，形象点说式蚀刻和湿式蚀刻是冲洗，和大少这个完全是两码事。”

光刻机、蚀刻机都是晶圆生产线的核心设备，由于晶圆生产的技术原理起源于相机，因此可以近似的把光刻机看成拍摄，蚀刻机看成冲洗，加工完成的晶圆就是相片。

七十年代中期，主流蚀刻机对经过光刻机曝光之后晶圆都是采用体化学溶剂冲洗光刻胶，因此也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采用气体冲洗的式蚀刻机研制成熟，只用了几年的时间就淘汰了作复杂腐蚀污染严重的湿式蚀刻。

可惜，整整二十多年，整个东洋也没想到把湿式工艺挪移到上一个生产环节。

一般来说，浸式光刻机有三种技术路线：

第一种是淋法，顾名思义就是把水到晶圆上然后再迅速带走，常见的淋法工艺是在镜的一侧设置一个超密嘴，随着镜加工运动把水到镜下方，然后从镜的另一侧把水吸走。

这个方法对超密加工能力和计算机控制能力要求极高，在镜下方的工作区稳定的建立起那层超薄水膜不比生产光刻机简单到哪去，如果密加工和密控制的能力不行，会导致晶圆边缘的曝光很差，严重影响晶圆生产线的良品率。

不过淋法最大的优点就是能完整的利用现有设备，可以说这套水和吸水的设备完全独立于晶圆生产线，只和光刻镜联动，进行晶圆生产线技术升级时难度和改建成本都极低。

第二种叫浴缸法，这个方法和梁远刚刚说的灵感类似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工作台移动。

这种方法的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动，必须研制全新的能在水中工作的光刻胶，必须对晶圆工作台加以改进，而且由于晶圆工作台上增加了水的重量，晶圆生产线的生产节拍也会随之改变，相比淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。

第三种叫泳池法，就是把整个光刻程序都丢进水里来完成，这种方法虽然能最大化的减少线宽，不过在水中作相当于重新研发一套晶圆生产体系，无论工程难度还是经济