怕找不到回家的路！请截图保存本站发布地址：www.ltxsdz.com
源的掺杂浓度……”
结合四十三所已经完成的10组实验数据，陈舟开始p型掺杂实验的试错。
一个小时后，陈舟拿出一张新的
稿纸，在稿纸上写下一系列的实验参数。
然后起身走到沈靖身旁，把稿纸甩给了沈靖。
沈靖拿到稿纸后，微微一愣，旋即开始和方结明沟通，进行模型分析。
陈舟则再次回到座位坐好。
接下来，该
到n型掺杂和共掺杂的问题了。
n型掺杂和共掺杂的问题，相比于p型掺杂，则要难上许多。
“第一次实现金刚石n型掺杂是在（111）面金刚石衬底上进行的，而且样品在很宽的温度范围内都表现了n型半导体传到特
……”
“在温度500k时，霍尔迁移率在23cm2/（v·s）……”
“但是，相对于（111）面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说，（100）面取向衬底表面具有原子级的平整程度，缺陷小，外延膜质量也优于（111）面衬底金刚石……”
“可这也并不是绝对的，而且晶面的问题，也不是最为关键的因素……”
想到这，陈舟手中的笔停了下来，习惯的在稿纸上点着点。
这是陈舟思路受阻时的表现。
“再梳理一遍文献资料……”
这样想着的陈舟，放下了手中的笔，将目光再次移向电脑屏幕。
手中鼠标的滚不断滑动，屏幕上的内容也在不断变化。
但陈舟的眼睛却一眨都不眨。
这些内容，他已经过了一遍了。
现在再看，只是寻找自己有没有漏掉的地方。
好给自己受阻的思路，打开一个缺
。
“磷的掺杂浓度？”
“电子散
机制？”
“不是这部分的内容……”
“……1.7ev？”
“怎么把这个数据忘了！”
看到这个内容时，陈舟的双眼瞬间明亮起来。
n型掺杂，或者说磷掺杂金刚石，之所以难。
是因为磷原子比碳原子大，很难嵌
金刚石晶格。
当磷原子进金刚石晶格内，会引起晶格扭曲，影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。
磷掺杂金刚石中存在大量空位，也会与磷原子形成结合力很强的磷—空位缺陷。
这种缺陷的能级位于金刚石导带底约1.7ev的位置上，可以补偿施主，阻碍磷原子的电离。
进而导致难以获得高质量的磷掺杂金刚石薄膜。
虽然磷的能级位于导带底以下0.58ev，但是这种缺陷却还是存在。
“缺陷的填补……”
陈舟手中的动作加快，鼠标的滚不断滑动。
屏幕上的内容被陈舟拉到了共掺杂的部分。
【氮原子处于金刚石晶格中的替代位置，会形成激发能量为1.7ev的
施主能级，在室温下不导电……】
【理论上，磷可以作为浅施主杂质，但磷原子的半径大于碳原子半径，很难掺金刚石晶格中……】
【理论表明，磷—氮共掺的方法，也许是克服宽禁带和超宽禁带半导体自身补偿的一种有效方法……】
【……】
看到这，陈舟手中的速度不自觉的慢了下来。
如果氮原子能够填补缺陷，磷原子的掺杂就有了空间……
本来是准备先解决n型掺杂问题的，结果这一思考，问题就跳跃到了共掺杂？
因为四十三所的n型掺杂实验，采用的是磷掺杂。
所以在共掺杂中，他们研究的便是磷—氮共掺的方法。
这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。
陈舟不由得在心中笑了笑，但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。
在共掺杂实验中，最早被作为磷源的是ph3，被作为氮源的是n2。
但是，采用这两种气体进行实验时，得到的结果却并不理想。
制备出来的掺杂金刚石膜的电阻率很高。
随后的实验中，磷源和氮源的选择被不断变更。
像是nh4h2p04这种包含磷元素和氮元素的单一掺杂源，也被应用到了研究上。
但得到的金刚石膜的电阻率依然很高。
陈舟又看了一眼四十三所的实验数据，随即开始在稿纸上整理可以作为氮源和磷源的物质。
在陈舟沉浸在研究中时，房间外的天色已经渐渐暗了下来。
“陈舟。”
被沈靖的声音喊醒，陈舟疑惑的抬起
看着沈靖。
沈靖指了指电脑：“数据分
本章未完，点击下一页继续阅读。
